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研生可提供高精度CAP電容式位移傳感器版本，也可選低成本SGS電阻應變片傳感器版本

突出優(yōu)勢：獨特的超高精度全并聯(lián)式柔性鉸鏈導向系統(tǒng)。研生科技設計開發(fā)的并聯(lián)式柔性鉸鏈導向結構技術已成功轉化為系列化產品，并廣泛應用于各相關應用領域……

壓電平臺可以將物體精確地移動到相對于平臺固定部分的相對位置。為了達到所需的運動精度，需要壓電控制器來消除壓電本身固有的非線性、蠕變和滯后問題，壓電控制器可以確保納米定位平臺處于所需位置，同時提供適當?shù)碾妷簛眚寗訅弘娞沾?。施加電壓時，壓電晶體可以移動大約 0.1% 的長度。通過向壓電致動器提供特定電壓，可以將平臺移動到所需位置。壓電陶瓷納米運動平臺設計用于在柔性鉸鏈彎曲導向系統(tǒng)內工作，并且可以通過適當?shù)脑O計放大其運動行程，可在更小的體積內提供了更大的運動范圍。壓電平臺有許多不同的尺寸，可以提供高達2mm的行程范圍，使其適用于不需要長行程范圍的精密定位應用。納米定位器有多種形狀和尺寸，可用于各種應用，采用有限元分析 (FEA) 用于撓性平臺的設計，每個階段的設計都考慮到了特定的應用，旨在針對客戶的應用對其進行優(yōu)化。

研生PIEZOXYZ設計制造的壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)適用于任何需要納米或亞納米級精度和可重復性的應用。這些應用包括多種類型的顯微鏡、納米對準、光學掃描、納米制造、測試和機器人技術。研生的集成電容位置傳感器的壓電平臺進行直接的絕對位置測量。該傳感系統(tǒng)通?？蓪崿F(xiàn)優(yōu)于 0. 03 %的閉環(huán)定位線性度，并且能夠將定位噪聲降至亞納米范圍。超低位置噪聲的傳感器技術測量納米定位系統(tǒng)，壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)可實現(xiàn)的極佳的精度和線性度。